大塚電子株式会社

大塚電子株式会社【SEIMCON Japan 2019】

■出展内容紹介

光を媒体に、数ナノから数ミリメートルの膜厚測定をスタンドアローンからインテグレーションタイプの装置を一挙に紹介。
大塚電子は、光を媒体とした技術で、常に時代の最先端を行く分析機器・計測機器メーカです。
ウェーハ、フィルム、電子材料からの要望に応えるべく 非接触・非破壊の膜厚装置 を出展いたします。

(1)数ナノメートルから数ミリメータの 膜厚 を対象に
(2)数ミクロンメートルからの 測定スッポトサイズ を対象に
(3)測定場所を スタンドアローン、インテグレーション、インライン を対象に
(4)膜厚値ダイナミックレンジ6桁を有する計測装置を更に対象に加え
前工程ゾーン・Hall1の小間番号1738で出展しております。

出展社名 大塚電子株式会社
住所 〒573-1132 大阪府枚方市招提田近3丁目26-3
ホームページ https://www.otsukael.jp/

PID:4441

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