SEMICON Japan 2025

|見どころ紹介

ブース番号  W3405
Solar Plus Company
Solar Plus Company
■展示内容:次世代を担う台湾品質の半導体テープ
■展示紹介:弊社は台湾製造の強みを活かし、高品質な半導体用テープを提供しております。
最大の特徴は、お客様の複雑なニーズに合わせた柔軟なカスタマイズ生産体制です。ダイシング、BG(バックグラインド)、熱剥離など、各種プロセスに対応。製品は台湾国内のみならず、国際市場でも豊富な実績があり、高い評価を得ています。
ブース番号  E4102
ピュアロンジャパン
ピュアロンジャパン
■展示内容:3ナノのオールフッ素樹脂製インラインガスフィルターを発表
■展示紹介:当社は主にガスフィルター、圧力センサー、ガス精製器、その関連機器などを製造販売している。
セミコンではハウジング、継手、エレメントを全てフッ素樹脂で統一した濾過性能は3ナノのオールフッ素樹脂製インラインガスフィルターの発表を行う。
半導体製造ラインで益々多様化されるであろうガス種への使用を念頭において開発された製品である。
また、新製品として10mm幅のフランジに取り付けが可能な超小型の圧力センサーの参考出品を行う。
ブース番号  W3558
セインジャパン
セインジャパン
■展示内容:液冷効率を最大化する半導体製造チラー用クイック・カップリング
■展示紹介:セインは、半導体産業の液冷用に特化し設計した、サイズ、材質、特長の異なる多彩なクイック・コネクトカップリングをご提供しております。効率的な熱管理やクリーン度が要求される半導体製造現場では、システム全体の冷却効率を最大化するために、流量特性が高く、液ダレのないクイック・コネクトカップリングを選択することが重要です。本展では、日本初披露となる-70℃から-100℃の超低温環境向けカップリングのご紹介・展示をはじめ、半導体製造装置チラー向けに開発された「ウルトラフローSC」、ラック組込用小型オートカップリング等を展示いたします。
https://www.cejn.com/ja-jp/articles/semicon-japan-2025/
ブース番号  E4126
Pentamaster Instrumentation Sdn. Bhd.
Pentamaster Instrumentation Sdn. Bhd.
■展示内容:Think Automation, Think Pentamaster
■展示紹介:Established in 1991 in Penang, Malaysia, Pentamaster Corporation Berhad (“Pentamaster or the Group”), is an INNOVATIVE automation manufacturing and technology solutions provider. Backed by over 30 years of extensive experience, Pentamaster has diversified into various business solutions: Automated Test Equipment, Factory Automation Solutions, Warehouse Automation Solutions and Machine and Product Contract Manufacturing.
We serve customers from various industries and sectors, ranging from semiconductor, automotive, renewable energy, electrical & electronics, pharmaceutical, agritech, food and beverages, consumer electronics to general manufacturing. Our customers are located worldwide including in The United States of America, Europe, Asia Pacific & ASEAN countries.
ブース番号  S2103
東京計装
東京計装
■展示内容:超音波流量計、流量コントローラ、羽根車流量計、他
■展示紹介:弊社ブースでは、最先端の半導体製造プロセスに対応した⾼性能流量計からユーティリティ⽤流量計まで、幅広い⽤途に対応した各種流量計測・制御機器をご紹介し
ます。
ブース番号  E4102
ピュアロンジャパン
ピュアロンジャパン
■展示内容:3ナノのオールフッ素樹脂製インラインガスフィルターを発表
■展示紹介:当社は主にガスフィルター、圧力センサー、ガス精製器、その関連機器などを製造販売している。
セミコンではハウジング、継手、エレメントを全てフッ素樹脂で統一した濾過性能は3ナノのオールフッ素樹脂製インラインガスフィルターの発表を行う。
半導体製造ラインで益々多様化されるであろうガス種への使用を念頭において開発された製品である。
また、新製品として10mm幅のフランジに取り付けが可能な超小型の圧力センサーの参考出品を行う。
ブース番号  W1563
ヒューテック
ヒューテック
■展示内容:高速全面膜厚測定装置 "全面膜厚測定ユニット"
■展示紹介:全面膜厚測定ユニットは、300,000点/秒でウェハ上の膜厚を全面測定します。
CVD、レジスト、熱酸化膜、スパッタ、CMP、グラインダなど各種成膜、研磨工程の膜厚測定実績があり、従来のスポット測定では確認できなかった異常や面内分布、全ウェハの膜厚傾向などが確認できます。
製造装置に組み込んだインラインタイプ、FOUP対応のオンラインタイプ、研究開発用のオフラインタイプを取り揃え、お客様に合わせた工程監視・不良早期検出・生産性向上を実現します。
展示会ではウェハ搬送ロボットとの連動展示を行います。「全てのロボットが膜厚測定装置になる」その瞬間に是非お立ち会いください。
ブース番号  E6808
舞鶴工業高等専門学校 電子制御工学科 清原研究室
舞鶴工業高等専門学校 電子制御工学科 清原研究室
■展示内容:親水化剤をPDMSに添加したナノインプリントと半導体人材育成
■展示紹介:EUVは,装置価格が数百億円であり,また消費電力も高い問題点がある。そのためEUVよりも装置が安価,低消費電力(1/10),ナノパターンを一度に大量生産可能である利点を持つ,ナノインプリントが次世代のリソグラフィとして注目されている。しかし,NILの問題点として,PDMSモールド奥まで転写材料が充填されないことが挙げられる.そこで,モールドに親水化剤を添加することで,モールドへの転写材料の流入が促進され,高精度なマスクパターンが形成できることを見出した。
また,開発した超小型ナノインプリントシステムを用いて,小中学生および本校学生対象にDLCナノパターン形成を行い,半導体プロセスへの興味・関心を促したので紹介する。
本研究で開発・試作した手のひらサイズのUV&室温ナノインプリントシステムを用いて,実際にマイクロ・ナノオーダーのL&S,ドット,マイクロギヤのマスクパターン形成を体験してみませんか。

展示会情報

開催期間 2025-12-17~2025-12-19
開催場所 東京ビッグサイト
公式サイト 展示会公式サイト (外部ページへ)
主催者 SEMI